a、化学法

化学法制氧是经由化学反应，使富氧化合物分解供人们应用的一种制氧方法。主要有两类：一类是以碱金属的过氧化物和超氧化物与二氧化碳、水反应产生氧气：一类是以氯酸盐和过氯酸盐加热情况下分解成氯化物和放出氧气。这种方法制氧器价格便宜，但长期使用原料消耗比较大，造成使用费用比较昂贵。同时，这种方法生产能力小无法生产大量的氧气。现在只用在小型家庭用便携式制氧器的生产上。

b、电解法

采用的原理是在稀的硫酸、氢氧化钠或硫酸钠的水溶液中通直流电，使水电离，氧积聚在阳极，氢积聚在阴极。每制取1m3氧气，同时获得2m3氢气。但由于制取1m3氧气耗电量为12-15度耗电量太大，这种方法也不能大量生产。

c、空气分离法

空气分离法是目前最常用的制取氧气的方法。

空气中的主要成分是氧和氮，它们分别以分子状态存在。分子是保持它原有性质的最小颗粒，而分子的数目非常多，并且不停地作无规则运动。因此，空气中的氧、氮等分子是均匀地相互搀混在一起的，要将它们分离开是较困难的，但如通过一定的科技手段则是可以实现的。目前空气分离的方法主要有三种：

（1）低温法（也称深冷法）

它是先将空气通过压缩、膨胀降温，直至空气液化，再利用氧、氮气低温度（沸点）不同（在大气压力下氧的沸点为-182.96℃，氮的沸点为-195.8℃）在一定的设备—精馏塔内，氧先变成液体流出。从而进行空气分离，是目前应用最为广泛的空气分离法。这种方式制氧量大，纯度高，可以在制氧气的同时制取其他气体。但这种方式规模比较大，一般在每小时几千立方以上，设备一次性投资大，生成气体从启动到应用时间比较长，一般在8—16小时，设备复杂，占地面积大，对操作人员要求高，一般作为大型应用氧设备供应。

（2）变压吸附法

它是让空气通过充填有分子筛的吸附塔。利用分子筛对不同的分子具有选择性吸附的特点，将通过的氮优先吸附，让氧分子通过因而可得到纯度较高的氧气。

由于吸附剂的吸附容量有限，当吸附某种分子达到饱和时，就没有继续吸附的能力，需要将被吸附的物质驱赶掉，才能恢复吸附的能力。为了保证连续供气，需要有两个以上的吸附塔交替使用。

在物理吸附过程中，改变压力或改变温度都可以改变吸附的吸附量。对于等温条件下的气体混合物，吸附剂对被吸附组分的吸附量，因其分压升高而增加，其分压下降而减少。这样，吸附剂在高压下吸附，达到吸附平衡后，再降压解吸，释放出被吸附的气体组分，吸附剂再生。这就是变压吸附过程。

这种方法流程简单，操作方便，运行成本较低，产品氧纯度在93%左右，现在已普遍应用在医院制氧和富氧燃烧中。

（3）膜分离法

它是利用一些有机聚合膜的渗透选择性，当空气通过薄膜（0.1um）或中空纤维膜时，氧气穿透过薄膜的速度约为氮的4-6倍，从而实现氧氮的分离。

这种方法装置简单，操作方便，启动快，投资少。但它的氧浓度比较低，一般在28%-35%，所以它一般应用在氧气纯度不算高的地方。如煤矿、油田、玻璃窑炉等地方。